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LH-CM无油真空泵机组 |
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LH-CM是由分子泵和爪式干泵串联而成的无油机组。
优点：和别的油泵分子泵机组相比，本泵组在抽真空过程中可以避免对真空室的污染，并且可以长时间获得稳定的高真空。本泵组还能适应富含可凝性气体和粉尘的环境，维护周期长。
应用领域：真空装备工业。如加速器，高真空、超高真空系统等。
电子工业。如半导体集成电路、微波管、彩色显像管的生产；真空镀膜等。 |
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LH-CM
8/450 |
LH-CM
15/850 |
LH-CM
15/1400 |
LH-CM
70/3500 |
| 极限真空 |
10-5 |
10-5 |
10-5 |
10-5 |
| 理论抽速(L/S) |
450 |
850 |
1400 |
3500 |
| 建议配用泵 |
LH-8PH
F150/450 |
LH-8/15PH
F160/1000 |
LH-15PH
F250/1400/150 |
LH-70PH
F400/3500 |
| 冷却水流量(L/h) |
300 |
300 |
400 |
400 |
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